1 .一種石墨盤檢測方法，其特征在于，所述方法包括：
拍攝石墨盤的表面，得到所述石墨盤的表面圖像；
根據所述石墨盤的表面圖像判斷所述石墨盤的表面是否存在破損；
當所述石墨盤的表面不存在破損時，根據所述石墨盤的表面圖像判斷所述石墨盤的表
面是否存在色差；
當所述石墨盤的表面不存在色差時，對所述石墨盤進行超聲波掃描，得到所述石墨盤
的反射率；
根據所述石墨盤的反射率對所述石墨盤進行分類，同一外延生長設備采用同一類所述
石墨盤進行外延生長。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述拍攝石墨盤的表面，得到所述石墨盤
的表面圖像，包括：
將所述石墨盤的表面分為多個區域；
依次拍攝所述石墨盤的表面的多個區域，得到多張所述石墨盤的表面圖像。
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述根據所述石墨盤的表面圖像判斷所述
石墨盤的表面是否存在破損，包括：
顯示所述石墨盤的表面圖像； 接收人工操作指令，所述人工操作指令用于指示所述石
墨盤的表面是否存在破損；
或者，所述根據所述石墨盤的表面圖像判斷所述石墨盤的表面是否存在破損，包括：
將所述石墨盤的表面圖像輸入預定的分類器，根據所述分類器的結果確定所述石墨盤
的表面是否存在破損。
4.根據權利要求1-3任一項所述的方法，其特征在于，所述根據所述石墨盤的表面圖像
判斷所述石墨盤的表面是否存在色差，包括：
將所述石墨盤的表面圖像分為多個區域；
計算每個區域的平均灰階值；
計算任意兩個相鄰區域的平均灰階值的差值；
當存在任意兩個相鄰區域的平均灰階值的差值大于閾值時，確定所述石墨盤的表面存
在色差。
5.根據權利要求1-3任一項所述的方法，其特征在于，所述對所述石墨盤進行超聲波掃
描，得到所述石墨盤的反射率，包括：
發射超聲波；
接收經過所述石墨盤反射回的超聲波；
根據發射的超聲波的強度和反射回的超聲波的強度，確定所述石墨盤的反射率